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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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  • 1. 基于二维LDV低压流场速度测量的研究
    作者： 吴宗跃 杨铁牛 赵蕾蕾 邹胜 黄尊地
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  169-175
    摘要： 在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量.本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律....
  • 2. 基于响应面分析的结构参数对蒸汽喷射泵性能的影响
    作者： 王俊元 苗苗 许向川 邵延君
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  176-180
    摘要： 为了更准确地优化蒸汽喷射泵的结构参数,提高喷射泵的性能,选取A(喉径比)、B(扩散器锥度)、C(喉管长度与直径的比值)、D(喷嘴距)为优化变量,R(引射系数)为目标响应,将数值模拟法与响应面...
  • 3. 爪式真空泵无尖点直爪转子性能分析与研究
    作者： 李卫国 武涛 沈兴全 董振
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  181-185
    摘要： 对爪式真空泵无尖点直爪转子的性能进行了研究与分析,构建了不同几何参数下转子的三维模型,运用数值分析方法进一步研究了无尖点直爪转子的性能变化,探究了不同几何参数对无尖点直爪转子性能的影响.研究...
  • 4. 非He气态检漏工质漏率转化为He标准漏率的可行性
    作者： 田梅 郑军芳 高鸿恩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  186-192
    摘要： 以纯He、及一定浓度He、Xe、SF6与N2的混合气体示漏,研究了将浓度检漏法获得的非氦示漏气体漏率转化为He标准漏率的可行性.研究结果表明,对于纯粘滞流和纯分子流,依据现有的理论,通过粘滞...
  • 5. 用于密封液体的一种新型磁性液体密封结构
    作者： 王虎军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  193-198
    摘要： 磁性液体密封具有“零”泄漏、寿命长等优点,在气体密封等领域得到了成熟的应用,然而,在液体环境中的密封性能较差.本文综述了磁性液体密封液体的发展现状,对传统磁性液体密封结构进行了改进,提出气体...
  • 6. AlTiXN/AlTiN(X=Cr,Si)纳米多层涂层的制备及铣削性能研究
    作者： 吴正涛 王启民 费加喜 赵升升 高翔
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  199-207
    摘要： 采用电弧离子镀技术在硬质合金基体和立式面铣刀上分别沉积了AlTiN、AlTiCrN/AlTiN、AlTiSiN/AlTiN纳米多层涂层,采用扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪、能谱仪、纳米划痕...
  • 7. 脉冲偏压对磁控溅射MoS2固体润滑涂层性能影响
    作者： 但敏 周毅 李鹏远 罗蓉蓉 金凡亚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  208-213
    摘要： 利用单极性脉冲磁控溅射方法,采用300,600,800 V的脉冲偏压,分别在A286铁基高温合金基底上沉积了MoS2涂层,并对其进行了组织和性能研究,结果表明:所制备的涂层表面存在成核势垒,...
  • 8. 热处理对Zr-B-N纳米复合涂层显微结构的影响
    作者： 万文强 李杰 王铁钢 董玉 郭玉垚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  214-220
    摘要： 利用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术制备Zr-B-N涂层,研究沉积过程中的氮气流量和热处理温度对涂层显微结构的影响.采用电子探针显微分析仪、扫描电镜和X射线衍射仪对涂层的成分、断面形貌及...
  • 9. 带有三间隙耦合输出腔的X波段EIK注波互作用系统研究
    作者： 姜振宁 张长青 杨晨 罗积润
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  221-225
    摘要： 扩展互作用速调管是通过使用分布作用谐振腔技术来扩展其瞬时工作带宽,可以在高工作频段,实现高功率、高效率、高增益、宽频带的一种紧凑型微波真空器件,在军事、科学和商业领域有着广阔的应用前景.本文...
  • 10. 利用微通道板极间耦合损失实现复合探测的空间束导栅型调制机制
    作者： 刘春阳 姜会林 李野 樊海波 母一宁 王新 王美婷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  226-229
    摘要： 从位置和能量复合分辨的角度出发,开展基于微通道束导栅型空间调制的复合探测技术研究:探究微通道光电倍增机构的电子束空间束导机理,构建适用于栅型薄膜空间调制的微通道束导机构;揭示相关电子光学参数...
  • 11. FeP(Fe2P)纳米颗粒/氮掺杂碳纳米复合结构的控制合成与电催化性能研究
    作者： 刘家琴 吴玉程 崔接武 张勇 王岩 秦永强 章昱 舒霞 陈传胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  230-237
    摘要： 采用溶液聚合法一步合成铁离子改性、植酸掺杂的聚苯胺,在800 ～ 900℃C氩氢还原气氛下,将电催化析氢性能良好的磷化铁与磷化亚铁颗粒,负载在高温裂解聚苯胺高分子生成的网络多孔碳骨架上.制备...
  • 12. 真空冷坩埚结构的磁场和能量利用率的数值模拟与仿真
    作者： 刘洁 宗学文 张斌 权坤 熊聪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  238-241
    摘要： 冷坩埚真空悬浮熔炼技术是目前最为先进的金属冶炼技术,被广泛应用于钛合金、镁铝合金和高温合金的熔炼,感应线圈作为冷坩埚真空悬浮技术的关键零件,其合理性对冷坩埚的能量利用率起到关键作用.为了有效...
  • 13. 场发射X射线管电子光学系统的设计和研究
    作者： 冯进军 刘伟 张强 李兴辉 王金淑 罗登 胡银富
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  242-245
    摘要： 设计了一种基于场发射阵列阴极的X射线管结构.制备了金属尖锥阵列场发射阴极,结果表明该阴极具有良好的电子发射能力和稳定性,在阳极电压为3400 V的条件下,发射电流达1.46 mA,电流密度达...
  • 14. EAST高频氘弹丸注入系统及其工程调试
    作者： 侯吉磊 胡建生 袁啸林 陈跃
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  246-251
    摘要： 先进实验超导托卡马克(EAST)作为国际上具有类似国际热核聚变实验堆(ITER)等离子体位型的全超导托卡马克之一,最近发展和建成了一套挤压成冰气动加速高频弹丸注入系统(PI-50),主要在E...
  • 15. 三维数值模拟冷孔板孔径对涡流管能量分离特性的影响
    作者： 何丽娟 孙尚志 潘鹏 黄艳伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  252-257
    摘要： 以理想CO2气体为工质,采用Standard k-ε湍流模型对涡流管冷热分离效应进行数值模拟.通过分析管内工质流动状态和温度、压力的分布,发现:CO2气体在内层强制涡区与外层自由涡区不断的进...
  • 16. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年3期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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