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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 基于二维半导体的模拟电路最新进展
    作者： 卢文栋 杨冠华 卢年端 李泠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  501-514
    摘要： 摩尔定律驱动的器件持续微缩已经开始给硅基晶体管的模拟性能带来潜在问题,其中本征增益作为最重要的模拟指标会随着技术节点的缩小而降低.二维半导体因其平坦的界面、原子级厚度的几何结构,允许极好的栅...
  • 2. 多晶硅真空定向凝固过程Marangoni对流对铸锭质量的影响研究
    作者： 多文超 杨玺 何云飞 李秋菊 魏奎先 吕国强 马文会
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  515-523
    摘要： 对于多晶硅垂直布里奇曼真空定向凝固过程,熔体自由表面张力引起的Marangoni对流对晶体生长质量有着明显的影响.本文通过建立多晶硅真空定向凝固过程的热场-流场-应力场多场耦合数学物理模型,...
  • 3. 基于IOC与PLC的双光束线真空安全联锁控制系统设计
    作者： 刘群 汪啸 贺博
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  524-527
    摘要： 论述了合肥光源新建的两条光束线软X射线磁性圆二色线(MCD-A)和苏大能源材料线(MCD-B)的真空安全联锁控制系统的相关设计内容.在基于IOC与模块化PLC的基础上,实现了双光束线共用一套...
  • 4. 曲轴模具的表面处理与耐蚀性能研究
    作者： 王建伟 陆贞 刘兴科
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  528-533
    摘要： 采用多弧离子镀方法在曲轴模具4Cr5MoVSi1热作模具钢表面制备了Ti/CrN和Ti/TiN/Cr镀层,对比分析了两种镀层的物相组成、显微形貌和抗铝液腐蚀能力.结果 表明,Ti/CrN镀层...
  • 5. Y对轴承钢上激光熔覆FeCoCrNi涂层结构和冲蚀磨损的影响
    作者： 刘欣宁 徐少华 王璇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  534-538
    摘要： 以激光熔覆方法在轴承钢上制得FeCoCrNi-xY高熵合金涂层,并对其处于气体环境中的耐高温冲蚀性进行了测试.研究Y对涂层结构和冲蚀磨损的影响.研究结果表明:随着Y增大,蜂窝形组织开始减少直...
  • 6. 建筑装饰用铜合金的表面钝化工艺与性能研究
    作者： 张慧洁 侯瑶 吴克凡
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  539-545
    摘要： 采用化学浸渍法在装饰用H62铜合金表面制备了不同转化膜,优化了单一稀土盐和复合(Ce+La)盐转化膜的钝化液配方,对比分析了未加稀土盐、单一Ce盐、单一La盐和(Ce+La)盐试样的耐蚀性能...
  • 7. Co-W-WC配比对传感器用HVOF制备SiO2膜组织及光学性能的影响
    作者： 康兰兰 王军艳 周旭宜 曲亚琳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  546-550
    摘要： 采用超音速火焰喷涂工艺(HVOF)制得不同配比的Co-W-WC吸收层,之后在上述吸收层表面继续通过Sol-Gel方法制得SiO2复合膜,测试了其微观组织及光学性能.研究结果表明:复合膜中形成...
  • 8. 退火对铪掺杂类金刚石薄膜结构和力学性能的影响
    作者： 黄泽怀 肖剑荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  551-556
    摘要： 退火可以改善材料的微结构,增加其韧性和释放其内应力.采用双靶共溅技术制备了铪掺杂类金刚石薄膜(Hf-DLC)样品,并对样品进行了不同温度的退火处理,研究了薄膜退火前后的形貌、键合结构和硬度和...
  • 9. 液氦温区微小漏孔流动特性研究
    作者： 林云龙 王国栋 陈长琦 王进伟 伊明辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  557-561
    摘要： 低温环境下系统器件的密封性能至关重要,对于低温密封研究,了解低温下微小漏孔泄漏的流动特性很有必要.本文构建了具有随机粗糙度壁面的二维微通道,应用仿真软件研究液氦温区漏孔微通道内气流的流动特性...
  • 10. 热处理对SLM 18Ni300马氏体时效钢力学性能的影响
    作者： 董福元 侯俊峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  562-565
    摘要： 为探究热处理对激光选区熔化(Selective Laser Melting,SLM)成形18Ni300马氏体时效钢力学性能的影响,利用激光选区熔化技术制备18Ni300马氏体时效钢试样,分别...
  • 11. 等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究
    作者： 林晶 于贵文 孙智慧 张莉 巩雪 钱锋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  566-570
    摘要： 高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值.本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工...
  • 12. Mo含量对Mo-Mn法陶瓷金属化层性能的影响
    作者： 刘伟 王利双 胡守亮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  571-575
    摘要： 采用丝网印刷法在氧化铝陶瓷表面制备了活性Mo-Mn金属化层,研究了Mo含量对烧结后金属化层的微观结构、元素成分以及钎焊后抗拉强度的影响.研究结果表明,Mo-Mn法陶瓷金属化层以Mo为骨架结构...
  • 13. 改性条件对半导体Ni片上电纺丝沉积碳纳米纤维结构和性能的影响
    作者： 洪晓艺 翟东媛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  576-580
    摘要： 选择乙醇电纺丝工艺制备碳纳米纤维,优化了工艺条件,并制备得到结构均匀的碳纳米纤维.选择EP溶液与水蒸气作为碳纳米纤维的改性介质,分析不同方法对碳纳米纤维进行表面改性的差异性.研究结果表明:通...
  • 14. 真空感应熔炼半导体用热轧NiCr靶微观组织和磁性能分析
    作者： 雷艳华 黄梦真 雷小康
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  581-585
    摘要： 采用真空感应熔炼方法制备了半导体用NiCr溅射靶,并对其开展不同变形量下的热轧,分析了NiCr合金受到热轧作用后发生的组织形态变化与磁性能改变.研究结果表明:NiCr合金中形成了呈现面心立方...
  • 15. Fe粉量对真空烧结NiAl2O3电子材料组织及导电性能的影响
    作者： 张海辉 孙娟 孙栗
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年6期
    页码:  586-590
    摘要： 选择真空烧结工艺制备得到NiAl2O3电子材料,通过添加Fe粉的方式来使得试样获得优异的导电性能.采用实验测试的方式对该合金的物相成分、微观形貌与电磁性能进行了测试.研究结果表明:逐渐提高F...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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