等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究

• 作者: 林晶 于贵文 孙智慧 张莉 巩雪 钱锋
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 等离子体增强原子层沉积 PET 阻隔性 增透性
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 566-570
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202007053

摘要

高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值.本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出所需透过率的膜层结构.结果 表明:等离子体增强原子层沉积制备的薄膜原子力显微镜表面形貌晶粒分布均匀,薄膜致密,红外光谱显示制备的薄膜为高纯度的SiO,和Si3N4,薄膜的透水率降低了2个数量级,可见光范围透过率可达到94％.