退火对铪掺杂类金刚石薄膜结构和力学性能的影响

• 作者: 黄泽怀 肖剑荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: Hf-DLC薄膜 退火温度 结构 磁控溅射 力学性能
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 551-556
• 页数: 6页
• 分类号: TN383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202007036

摘要

退火可以改善材料的微结构,增加其韧性和释放其内应力.采用双靶共溅技术制备了铪掺杂类金刚石薄膜(Hf-DLC)样品,并对样品进行了不同温度的退火处理,研究了薄膜退火前后的形貌、键合结构和硬度和摩擦性能等的变化.结果 表明,Hf-DLC薄膜中Hf与C形成纳米晶HfC;在250℃条件下退火,薄膜仍比较稳定;300℃退火后,薄膜结构开始发生变化,表面颗粒增大、变得粗糙;退火温度达到350℃以上,薄膜的结晶性变好,HfC结构增加.薄膜的硬度随着退火温度的增加先略有减小而后增加,薄膜与基体间的结合得到改善,这是由于薄膜的结构随退火温度发生改变所致.