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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 石墨烯及碳纳米管实空间等离激元学的最新进展
    作者： 姜丽丽 赵文宇 王枫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  591-601
    摘要： 表面等离激元是金属和掺杂半导体中光子与电子的杂化激发模式.表面等离激元的强局域电场增强效应和强限域效应可以为在亚波长尺度操控光提供新的机遇.在这篇综述中,我们将首先讨论二维石墨烯等离激元在实...
  • 2. 预应力作用下的薄壁二极铁真空室模态分析
    作者： 蔺晓建 刘建龙 马向利 蒙峻 杨伟顺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  602-606
    摘要： 真空室受到外界激励时会产生振动,当外界激励频率接近真空室的固有频率时就会产生共振.真空室作为束流运行的场所,如果发生共振不但会影响真空系统的气密性还可能会引起结构的损伤破坏.本文结合薄壁二极...
  • 3. 超高真空磁控溅射生长铌薄膜
    作者： 杨丽娜 丁增千 李睿颖 周博艺 熊康林 冯加贵 张永红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  607-612
    摘要： 金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用.铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备.为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要.结...
  • 4. 阻挡材料对射频容性耦合等离子体放电参量的影响
    作者： 王学禹 吴勤斌 罗日成 肖宏峰 田迪凯 张宇飞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  613-618
    摘要： 为进一步探索射频容性耦合等离子体放电影响因素,本文运用数值仿真技术,构建了容性耦合等离子体的一维发射装置,施加射频源,仿真气体设定为氦气,极板间距恒定75 mm,研究了插入阻挡材料厚度、介电...
  • 5. 氮气介质阻挡放电激发态氮的数值模拟研究
    作者： 李森 王小兵 马婷婷 李栋 戴健男
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  619-625
    摘要： 本文采用流体模型模拟了不同工作气体下N2介质阻挡放电.并利N2等离子体用发射光谱进行了实验对比.该模型考虑了 10种反应物和28种反应.压力在1～5 atm之间,不同能级的N2(C)分子是典...
  • 6. 真空断路器弧后鞘层发展过程仿真分析
    作者： 耿钰翔 刘晓明 陈海 姜文涛 李培源 张煦松
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  626-631
    摘要： 以真空断路器弧后鞘层发展过程为对象,采用等离子体流体力学模型,求解电子、离子密度和平均电子能量的漂移扩散方程和耦合电场的泊松方程,引入粒子间碰撞反应,仿真分析其弧后介质恢复变化和鞘层发展阶段...
  • 7. 低维氧化镍/聚苯胺核壳纳米结构的控制生长与电致变色性能研究
    作者： 张作胜 张勇 宋艳斌 陈传胜 张雪茹
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  632-639
    摘要： 氧化镍和聚苯胺是典型的无机/有机电致变色材料,各有其优缺点.如果将两种材料相结合,可得到电致变色性能更加优良的NiO/PANI复合材料.本文通过水热法与电聚合相结合的方法制备了氧化镍(NiO...
  • 8. 沉积温度对化学气相沉积法制备铜薄膜性质的影响
    作者： 刘莎 徐源来 赵培 李紫琪 陈志杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  640-647
    摘要： 以双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)化铜(Cu(DPM)2)为前驱体,使用智能化学气相沉积设备在673 K至1173 K下于A1N多晶基板上制备Cu薄膜.研究了不同沉积温度对Cu薄...
  • 9. 物理气相沉积薄膜超级电容器
    作者： 张银团 张腾飞 王启民
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  648-658
    摘要： 超级电容器作为一种可以快速充放电的储能器件,在电动汽车、微储能电子器件、航空航天等领域有广泛的应用前景.金属氮/氧化物薄膜电极具有优良的电化学性能以及稳定的机械性能,使其成为一种极具发展潜力...
  • 10. 新型氧化钯在高真空多层绝热设备中不同数量级真空度下吸氢特性实验研究
    作者： 于洋 朱鸣 张波 古纯霖 张耕 陈叔平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  659-667
    摘要： 氧化钯被公认为性能优良的吸氢剂之一.常应用于高真空多层绝热设备中维持真空.本文通过搭建实验台系统地研究新型氧化钯在不同数量级的真空度下吸氢性能、吸附速率、吸氢效率、吸附量以及平衡压强之间的关...
  • 11. 开口微波谐振腔选频能力优化设计
    作者： 张瑜 王晓雪 韩明硕 李爽
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  668-673
    摘要： 为了提高微波气体测量系统的测量精度,针对其主要测量元件开口微波谐振腔选频能力较弱的问题,对谐振腔的耦合孔及通风孔进行优化设计.以建立在9.6 GHz的圆柱谐振腔模型为基础,采用矩形波导从腔的...
  • 12. MEMS芯片器件用非蒸散型吸气剂的研究状况
    作者： 苏童 艾永昌 黄水明 徐凯 侯雪玲 周超 刘兴光
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  674-682
    摘要： 随着"物联网"时代的来临及智能芯片推出,在全世界范围内掀起了 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)芯片器件发展浪潮.高端的MEMS芯片器件需要在其内部安...
  • 13. 电磁搅拌电流对铸态TiB2颗粒增强建筑结构钢性能的影响
    作者： 乔雪垠 聂斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  683-686
    摘要： 为了提高建筑结构钢的性能,采用添加TiB2颗粒的方式对其加强.分析立式电磁搅拌模式下电流对其微观组织及力学性能的影响,同时研究了强对流状态下的颗粒分布形态.研究结果表明:经电磁搅拌处理后,形...
  • 14. SiO2/CaO比对中低品位磷矿真空碳热还原的影响
    作者： 李贤粉 武庆慧 吕晓东 伍秦至 张金柱 黄润
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  687-693
    摘要： 通过FactSage理论计算与实验相结合的方法研究了添加不同硅钙比时磷矿碳热还原反应体系的变化.热力学计算结果表明:在1 Pa的真空条件下,气相中磷单质的挥发率在1250℃时达到最大值,Si...
  • 15. 探究氧气流量对新型高阻隔薄膜材料的制备及性能的影响
    作者： 张健 牛夏斌 孟辉波 齐振华 李建浩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2021年7期
    页码:  694-698
    摘要： 利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlOx+Al+AlOx三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层形貌、膜层...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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