摘要:

本发明公开了一种快速表面质量测量系统。包含两套共光路的干涉仪，其中一套补偿噪声用参考干涉仪是专门用于检测环境中的振动、空气扰动等噪声，通过负反馈消除这些背景噪声干扰的影响。另一套测量用主干涉仪采用声光滤光器控制入射到干涉仪的光波长，利用基于GPGPU的大规模并行运算对产生的干涉信号进行处理，能够迅速地获得被测表面的三维形貌。本发明能实时测量，且测量过程中无需机械光程扫描，可以达到很快的测量速度，平均1-2秒就能更新一次，经过优化后可望更快；加上主动光路补偿技术，减少环境噪声对测量带来的影响；达到亚纳米级的测量精度；造价较为低廉，省去了通常昂贵的高精度平移台，它可用于干扰较多的加工车间里。

摘要:

基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，包括扫频激光器、靶镜和检测机构，总分光镜；检测机构包括X向检测机构和Y向检测机构；检测机构均包含子分光镜，反射镜，光电检测器和计数器，以及处理器；第一分光信号朝向靶镜、第二分光信号朝向反射镜；第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，第二分光信号遇到反射镜后反射形成第二反射信号，第一反射信号和第二反射信号在子分光镜处汇聚产生干涉信号。本实用新型具有测量过程中检测光路被阻断也不会影响测量结果，能测得绝对位移，仪器的标定和修正简单的优点。

摘要:

本实用新型公开了一种快速表面质量测量装置。包含两套共光路的干涉仪，其中一套补偿噪声用参考干涉仪包括扩束器(19)，激光器(21)，探测器(6)，伺服控制电路(8)和补偿压电陶瓷(9)，是专门用于检测环境中的振动、空气扰动等噪声，通过负反馈消除这些背景噪声干扰的影响。另一套测量用主干涉仪包括数据采集卡(1)，计算机(2)，图像采集卡(3)，三个分光镜(4、14、15)，相机(5)，两个物镜(7、13)，参考反射镜(10)，成像透镜(11)，准直镜(16)，可调谐滤光器(17)、白光光源(18)和滤光器驱动单元(20)，采用声光滤光器控制入射到干涉仪的光波长，利用基于GPGPU的大规模并行运算对产生的干涉信号进行处理，能够迅速地获得被测表面的三维形貌。本实用新型能实时测量，且测量过程中无需机械光程扫描，可以达到很快的测量速度，平均1-2秒就能更新一次，经过优化后可望更快；加上主动光路补偿技术，减少环境噪声对测量带来的影响；达到亚纳米级的测量精度；造价较为低廉，省去了通常昂贵的高精度平移台，它可用于干扰较多的加工车间里。

摘要:

在分析产品数据管理(Product Data Management,PDM)系统和计算机辅助质量管理(Computer Aided Quality,CAQ)系统架构的基础上,提出基于可扩展标记语言(Extensible Markup Language,XML)的PDM与CAQ的集成框架,分析基于XML的PDM数据库表示模式,以及产品设计图文档信息的XML表示.基于CAQ系统平台开发了PDM集成模块,实现了对产品设计过程数据的集成共享.

摘要:

基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，包括扫频激光器、靶镜和检测机构，总分光镜；检测机构包括X向检测机构和Y向检测机构；检测机构均包含子分光镜，反射镜，光电检测器和计数器，以及处理器；第一分光信号朝向靶镜、第二分光信号朝向反射镜；第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，第二分光信号遇到反射镜后反射形成第二反射信号，第一反射信号和第二反射信号在子分光镜处汇聚产生干涉信号。本发明具有测量过程中检测光路被阻断也不会影响测量结果，能测得绝对位移，仪器的标定和修正简单的优点。

摘要:

基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，包括扫频激光器、靶镜和检测机构，总分光镜；检测机构包括X向检测机构和Y向检测机构；检测机构均包含子分光镜，反射镜，光电检测器和计数器，以及处理器；第一分光信号朝向靶镜、第二分光信号朝向反射镜；第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，第二分光信号遇到反射镜后反射形成第二反射信号，第一反射信号和第二反射信号在子分光镜处汇聚产生干涉信号。本发明具有测量过程中检测光路被阻断也不会影响测量结果，能测得绝对位移，仪器的标定和修正简单的优点。

摘要:

本发明公开了一种快速表面质量测量系统。包含两套共光路的干涉仪，其中一套补偿噪声用参考干涉仪是专门用于检测环境中的振动、空气扰动等噪声，通过负反馈消除这些背景噪声干扰的影响。另一套测量用主干涉仪采用声光滤光器控制入射到干涉仪的光波长，利用基于GPGPU的大规模并行运算对产生的干涉信号进行处理，能够迅速地获得被测表面的三维形貌。本发明能实时测量，且测量过程中无需机械光程扫描，可以达到很快的测量速度，平均1-2秒就能更新一次，经过优化后可望更快；加上主动光路补偿技术，减少环境噪声对测量带来的影响；达到亚纳米级的测量精度；造价较为低廉，省去了通常昂贵的高精度平移台，它可用于干扰较多的加工车间里。