论文降重
免费查重
限定条件：
清空
- 相关度
- 出版时间
- 被引频次
刊名：西安交通大学学报
发表时间：2016-07-01
摘要:
针对已有测量方法不能同时实现材料表面形貌的三维定量无损测量的不足,提出了一种基于调制电流式扫描离子电导显微镜(SICM)的表面形貌测量方法.为了提高已有SICM系统的成像质量,提出了一种调制电流扫描模式.该模式在扫描头的结构设计上采用两块压电陶瓷,并采用调制离子电流的振幅作为反馈信号.该设计不仅保证了探头对高度突变表面的成像能力,同时有助于改善系统的成像质量.对微凸透镜阵列表面的成像实验表明,相对于传统跳跃扫描模式,调制电流扫描模式可以有效降低43％的刺状噪声,从而提高成像质量.通过与扫描激光共聚焦显微镜的定量对比实验,验证了调制电流式SICM具有更准确的三维定量测量结果,且通过采用更细的探头和更小的扫描步距可以进一步提高测量结果的准确性.
刊名：自动化与仪表
发表时间：2013-08-01
摘要:
分析研究现有表面形貌测量仪器的测量控制系统的优缺点,提出一种基于CPLD的高速、高可靠性、低成本的PCI总线测量控制系统实现方案.该系统以CPLD为控制核心,将PCI目标总线接口、电机控制模块、AD控制模块、DA控制模块以及正交解码计数模块设计成IP软核(intellectual property core)集成到单片CPLD上,利用PCI总线高速传输特性提高系统的执行效率,同时单片集成的设计方式既减小了开发成本,又提供了整个系统的可靠性.通过应用到表面形貌测量仪器进行实际测量,验证了该方案的可靠性.
刊名：中国光学
发表时间：2014-02-01
摘要:
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性，根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量，同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点，并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置，光学测量部分采用白光干涉计，探针部分采用拥有8只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄膜试件进行了测量。测量52 nm的标准刻槽试件时得到了测量误差小于2％，标准偏差小于1 nm的结果，表明本装置可以达到高精度测量表面形貌的目的。通过测量高约400 nm的树脂材料证实了此装置可以克服多重反射的影响测量透明薄膜的表面形貌。
刊名：光学精密工程
发表时间：2011-04-01
摘要:
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头.采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96 nm,相对重复性误差为3.08%.给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例.实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量.
刊名：光学精密工程
发表时间：2014-12-01
摘要:
为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术.根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系统的自动扫描范围、垂直方向的扫描方法、单次测量三维表面的恢复算法和磨粒的识别算法.结合自行设计的夹具搭建了砂轮测量系统,并对多次测量拼接算法进行了实验分析.实验结果表明:基于区域重合大小(重合度为30％～50％)的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8,拼接后重合区域的高度差均小于0.4 μm.得到的结果显示所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度满足砂轮磨粒评定和分析的要求.
刊名：光学精密工程
发表时间：2015-09-01
摘要:
用光学显微干涉法进行表面形貌测量时其深度测量范围的扩大和形貌测量精度的提高是一对矛盾.为此,本文设计出了一种基于波长轮换与相移扫描相结合的三波长表面形貌测量系统,并提出了一种基于椭圆拟合与相位差大小尺度相结合的相位提取与识别算法.将这种算法运用于多波长干涉图像的数据处理,有效地提高了形貌的整体测量精度,并拓展了深度测量范围.实验结果表明:在深度测量范围扩大近15倍的条件下,采用粗糙度国家基准校准的方波多刻线样板得到的表面粗糙度数据与校准数据的相对误差仅为4.12％,表明该系统在一定的深度范围内能够实现表面形貌的高精度测量.另外,针对该系统设计的多波长相位识别算法对环境噪声要求不高,可以支持系统的高噪声或在线测量.
刊名：湖北汽车工业学院学报
发表时间：2007-03-01
摘要:
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位.衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量.
已选文献：0
导出
每页显示
10
|
20
|
30
中国电机工程学报
生态学报
生态学报
电力系统自动化
安徽农业科学
农业工程学报
计算机工程与应用
岩石力学与工程学报
中国医药指南
食品科学
电网技术
应用生态学报
中华护理杂志
中国组织工程研究
中华医院感染学杂志
计算机工程
中国实用医药
科学技术创新
护理研究
山西建筑
中国老年学杂志
地理学报
中国农学通报
中国妇幼保健
岩土工程学报
科技信息
中国农业科学
中国实用护理杂志
岩土力学
现代中西医结合杂志
机械工程学报
计算机应用研究
中国中药杂志
环境科学
商场现代化
软件学报
中草药
中国医药导报
护理学杂志
护士进修杂志
21世纪
居业
21世纪商业评论
癌变·畸变·突变
安防科技
鞍钢技术
安徽电力
安徽电气工程职业技术学院学报
安徽大学学报(自然科学版)
安徽地质
安徽电子信息职业技术学院学报
安徽化工
安徽工程大学学报
安徽科技学院学报
合肥师范学院学报
安徽建筑
安徽建筑大学学报
安徽科技
安徽科技与企业
安徽林业
安徽林业科技
安徽农学通报
现代农业科技
安徽农业大学学报
安徽农业科学
安徽师范大学学报(自然科学版)
安徽水利水电职业技术学院学报
安徽商贸职业技术学院学报(社会科学版)
安徽体育科技
安徽卫生职业技术学院学报
安徽文献研究集刊
安徽预防医学杂志
安徽冶金
安徽冶金科技职业学院学报
安徽医科大学学报
安徽医学
安徽医药
安徽中医药大学学报
安家
生物资源
