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MOCVD装置和材料的研究
MOCVD装置和材料的研究
作者:
丁永庆
任尧成
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MOCVD
材料
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装置
摘要:
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文献信息
篇名
MOCVD装置和材料的研究
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
MOCVD
材料
设备
装置
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
16-19
页数
4页
分类号
TN304.05
字数
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DOI
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1989(0)
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MOCVD
材料
设备
装置
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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