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摘要:
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MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究
离子敏场效应管
功能膜
微电子机械系统
五氧化二钽
聚四氟乙烯
新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究
微传感器
读取电路
单芯片
集成系统
双多晶硅栅SOI MOS器件的研究
双多晶硅栅
全耗尽
SOI
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 PH—T双功能集成ISFET器件的研究
来源期刊 半导体杂志 学科 工学
关键词 ISFET 离子敏感膜 场效应晶体管
年,卷(期) 1989,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-6
页数 6页 分类号 TN386
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
ISFET
离子敏感膜
场效应晶体管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体杂志
季刊
1005-3077
12-1134/TN
16开
天津市河西区陈塘庄岩峰路
1976
chi
出版文献量(篇)
478
总下载数(次)
1
总被引数(次)
1404
论文1v1指导