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文献信息
| 篇名 | 在TiN的等离子体增强的化学蒸气沉积中沉积的速率和沉积… | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 氮化钛 薄膜 沉积 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | 1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 60-66 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | TG174.442 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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1990(0)
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氮化钛
薄膜
沉积
等离子体应用
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变
主办单位：
四川省核学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
728
总下载数（次）
3
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