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在TiN的等离子体增强的化学蒸气沉积中沉积的速率和沉积…
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文献信息
| 篇名 | 在TiN的等离子体增强的化学蒸气沉积中沉积的速率和沉积… | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 氮化钛 薄膜 沉积 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | 1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 60-66 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | TG174.442 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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