单应变片型硅压力传感器

• 作者: 三枝德治 吴风
• 来源期刊: 国外计量
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 硅 材料 传感器
• 年，卷（期）: 1990,（2）
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TP212

摘要

【正】 一、前言以应用于压力计为目的,开发了利用硅的压力电阻效应的压力传感器。用硅材料制成的压力传感器具有下列特点,近年来受到人们的重视:(1)灵敏度高;(2)因为采用半导体工艺过程,适于大量生产;(3)硅为完全弹性体,滞后现象小;(4)具有与金属同样的强度,作为结构材料是理想的。此次开发的产品,是在圆形硅片的表面上