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基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究
硅隔离
压力传递机构
耐高温
绝缘体上硅高温压力传感器研究
压力传感器
绝缘体上硅
高温
有限元分析
扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法
扩散硅压力传感器
温度
非线性
误差补偿
满量程
硅压阻压力传感器优化设计
硅压阻压力传感器
敏感芯体
信号跳变
硅油
空化
振动
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅传感器与微结构(3):第四讲 硅压力传感元件的基本特性
来源期刊 上海光机 学科 工学
关键词 硅传感器 微结构 压力传感元件
年,卷(期) 1990,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-10
页数 6页 分类号 TP212
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DOI
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研究主题发展历程
节点文献
硅传感器
微结构
压力传感元件
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期刊影响力
上海光机
季刊
上海老沪闵路1901号
出版文献量(篇)
56
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