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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子封装与组装中的微连接技术的进展
微连接技术
微电子封装与组装
进展
无铅钎料
微电子塑封成型过程的数值模拟技术
微电子塑封
数值分析
充填模拟
"卡脖子"技术的突破:中国微电子技术微米级台阶的跨越
微电子技术
超大规模集成电路
国际封锁
巴黎统筹委员会
李志坚
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微电子—光刻技术的演进
来源期刊 国际科技交流 学科 工学
关键词 电子技术 光刻技术
年,卷(期) 1990,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 14-17
页数 4页 分类号 TN305.7
字数 语种 中文
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
电子技术
光刻技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
国际科技交流
年刊
北京复兴路15号
出版文献量(篇)
812
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2
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