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过滤电弧蒸发法制备致密薄膜

作者：

龚榆

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金属涂层

过滤电弧蒸发

致密薄膜

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文献信息

篇名	过滤电弧蒸发法制备致密薄膜
来源期刊	国外稀有金属动态	学科	工学
关键词	金属涂层过滤电弧蒸发致密薄膜
年，卷（期）	1991,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	2-4
页数	3页	分类号	TG174.44
字数		语种	中文
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