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类金刚石膜在模具中的应用
类金刚石膜
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类金刚石膜
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磁透镜技术
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类金刚石微球
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文献信息
篇名 静电探针在PCVD制备类金刚石膜中的应用
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 静电探针 类金刚石 薄膜 PCVD
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 16-21
页数 6页 分类号 TN304.18
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研究主题发展历程
节点文献
静电探针
类金刚石
薄膜
PCVD
研究起点
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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