基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
真空镀膜技术的现状及发展
真空镀膜技术
物理气相沉积法
真空蒸发
溅射镀膜
离子镀膜
工艺参数对CrNx涂层膜基结合力的影响
膜基结合力
CrNx涂层
工艺参数
磁控溅射
新型多功能膜/基结合力测定仪的研制
仪器
膜/基结合力
测定
真空镀膜机模块化设计系统研究与应用
真空镀膜机
模块化设计
专家知识库
案例知识库
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 真空镀膜膜层的均匀性和结合力的探讨
来源期刊 电子工艺简讯 学科 工学
关键词 真空镀膜 膜层 均匀性 结合力
年,卷(期) 1991,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-10
页数 5页 分类号 TN305.8
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1991(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
真空镀膜
膜层
均匀性
结合力
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工艺简讯
月刊
1004-7832
出版文献量(篇)
807
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导