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工艺参数对CrNx涂层膜基结合力的影响
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文献信息
篇名 真空镀膜膜层的均匀性和结合力的探讨
来源期刊 电子工艺简讯 学科 工学
关键词 真空镀膜 膜层 均匀性 结合力
年,卷(期) 1991,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-10
页数 5页 分类号 TN305.8
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真空镀膜
膜层
均匀性
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研究起点
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期刊影响力
电子工艺简讯
月刊
1004-7832
出版文献量(篇)
807
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