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光学薄膜的厚度监控及其反射式红外膜层厚度监控装置
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文献信息
| 篇名 | 光学薄膜的厚度监控及其反射式红外膜层厚度监控装置 | ||
| 来源期刊 | 控制工程（北京） | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 光学薄膜 红外膜层 厚度 监控装置 | ||
| 年，卷（期） | kzgcbj_1991,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 18-22 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | O484.5 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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期刊影响力
控制工程（北京）
主办单位：
航天科技集团公司北京控制工程研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京2729信箱21分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1045
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