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文献信息
篇名 离子束反应溅射沉积氧化锆薄膜的微观分析
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 离子束反应 溅射 沉积 氧化锆 薄膜
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 79-84
页数 6页 分类号 TN304.055
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研究主题发展历程
节点文献
离子束反应
溅射
沉积
氧化锆
薄膜
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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