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金刚石薄膜/立方氮化硼异质结的制备
金刚石薄膜
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氮化硼薄膜
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直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究
直流等离子体
热丝化学气相沉积
金刚石形核及生长
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼…
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 物理学
关键词 氮化硼 薄膜 沉积 等离子体应用
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 57-60
页数 4页 分类号 O484.1
字数 语种 中文
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氮化硼
薄膜
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等离子体应用
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国外核聚变与等离子体应用
双月刊
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544
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