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用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼…
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文献信息
| 篇名 | 用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼… | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 氮化硼 薄膜 沉积 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 57-60 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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