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离化的团粒束沉积镀膜技术
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文献信息
| 篇名 | 离化的团粒束沉积镀膜技术 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 离化团粒束 沉积 薄膜 镀膜 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 49-60 | |
| 页数 | 12页 | 分类号 | TG174.44 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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