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多晶硅薄膜
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温度
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柔性石墨纸
化学气相沉积
气相生长碳纤维
硅基锗硅驰豫衬底的外延生长
硅基锗硅薄膜
驰豫衬底
外延生长
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅外延层的快速调温化学气相沉积
来源期刊 国外稀有金属动态 学科 工学
关键词 外延层 RTPCVD
年,卷(期) 1992,(15) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-2
页数 2页 分类号 TN304.12
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
外延层
RTPCVD
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国外稀有金属动态
半月刊
出版文献量(篇)
189
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