论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 上海微电子技术和应用期刊 \
热壁低压化学汽相淀积多晶硅膜的质量分析
推荐文章
多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积
多晶硅薄膜
低温生长
太阳能级多晶硅制备进展
多晶硅
太阳能
制备方法
多晶硅还原炉能耗分析及节能措施
多晶硅
改良西门子法
还原炉
能耗
能量平衡
物料平衡
多晶硅棒等级分类测量系统分析
多晶硅棒
等级分类
测量系统分析
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1993(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
多晶硅膜
化学汽相淀积
质量
分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
总下载数（次）
3
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
