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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 化学气相淀积中热和物质输运问题及数值方法
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 物理学
关键词 化学气相淀积 热和积质输运 薄膜生长
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 103-108
页数 6页 分类号 O484.1
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化学气相淀积
热和积质输运
薄膜生长
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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