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电容式微机械超声换能器技术概述
电容式微机械超声换能器
微电子机械系统
制造
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研究主题发展历程
节点文献
微机械
仪表
微机械加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与仪表
主办单位：
上海市电子仪表科技情报研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1446/TN
开本：
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1004
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