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温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
信号接收器
CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路
磁饱和电抗器
稳流
SG3524
IGBT
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
CVD金刚石核探测材料与器件
CVD金刚石
辐射探测器
光电流
脉冲高度分布
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅基板上CVD沉积金刚石膜的热扩散率和热导率
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 金刚石膜 热扩散率 热导率 硅基板 化学相沉积
年,卷(期) 1994,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 281-288
页数 8页 分类号 TN305.6
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石膜
热扩散率
热导率
硅基板
化学相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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