PZT铁电薄膜离子束刻蚀研究

• 作者: 郭懋端 陈国明
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 离子束刻蚀 快速热处理 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TN384

摘要

以Ｐｔ为上下电极和中间ＰＺＴ薄膜的铁电电容器主要由油射法和离子束刻蚀法制备。研究快速热处理实现铁电相转变的条件和离子束刻蚀工艺对铁电容器图形的影响，选择合理的制备工艺可得到针电电容器。