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磁控溅射
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铟锡氧化物
共沉淀法
表面处理
包裹
分散性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 原子层外延法生产氧化铟锡薄膜
来源期刊 有色与稀有金属国外动态 学科 工学
关键词 氧化铟锡 薄膜 原子层外延法
年,卷(期) 1996,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-2
页数 2页 分类号 TN304.054
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
氧化铟锡
薄膜
原子层外延法
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
有色与稀有金属国外动态
半月刊
北京市新街口外大街2号603室
出版文献量(篇)
498
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