大电流塑封高压硅堆的研制

• 作者: 张丽珍
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微波炉 大电流塑封 高压硅堆
• 年，卷（期）: 1996,（2）
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TM925.502

摘要

本文在简要介绍微波炉用大电流塑封高压硅堆基础上，叙述了产品研制思路与主要工艺，旨在郑重讨论在研制过程中解决的技术关键，进而得出几点结论。