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PE—MOCVD制备的MgO薄膜的晶体取向
PE—MOCVD制备的MgO薄膜的晶体取向
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MOCVD
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PE—MOCVD制备的MgO薄膜的晶体取向
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等离子体应用技术快报
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物理学
关键词
MOCVD
氧化镁
薄膜
晶体取向
年,卷(期)
1996,(4)
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O484.4
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核工业西南物理研究院
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月刊
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