MOCVD法在MgO(100)衬底上生长m面ZnMgO薄膜

• 作者: 卢洋藩 叶志镇 吴科伟 张亚琳 黄靖云
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnMgO m面 金属有机化学气相沉积(MOCVD)
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 195-198,207
• 分类号: TN304.2
• 语种: 中文

摘要

本文采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在MgO(100)衬底上成功生长了非极性的m面(1010) ZnMgO薄膜.研究了衬底温度对ZnMgO薄膜生长取向的影响.X射线衍射(XRD)分析结果表明当衬底温度为400℃时可以获得单一取向的m面ZnMgO薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)观察到ZnMgO薄膜表面平整,由条纹状结构组成.透射电子显微镜(TEM)分析进一步证明ZnMgO为具有m面取向的单晶薄膜.X射线光电子能谱(XPS)定量分析表明ZnMgO薄膜中Mg含量为3at.％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
2	黄靖云	浙江大学硅材料国家重点实验室	51	610	12.0	23.0
3	卢洋藩	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	30	3.0	5.0
4	张亚琳	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	吴科伟	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	1	1.0	1.0