作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
离子束辅助沉积制备的铁锆多层膜中的相演化
离子束辅助沉积
非晶薄膜
铁-锆合金
PZT铁电薄膜的射频磁控溅射制备及其性能
PZT铁电薄膜
射频磁控溅射
退火温度
聚焦重离子束溅射制备同位素靶的材料利用率及均匀性研究
聚焦重离子束溅射
同位素靶
均匀性
材料利用率
氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术
离子束溅射
厚度均匀性
激光高反射薄膜
增透膜
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 利用多离子束溅射技术制备铁电薄膜
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 多离子束溅射 铁电薄膜 薄膜
年,卷(期) 1996,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-6
页数 2页 分类号 TB43
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1996(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
多离子束溅射
铁电薄膜
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
月刊
四川省成都市432信箱
出版文献量(篇)
864
总下载数(次)
2
论文1v1指导