薄膜晶粒大小与薄膜厚度的关系探讨

• 作者: 关鲁雄 唐兆麒
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 晶粒度 厚度 晶粒长大
• 年，卷（期）: 1997,（1）
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: O48

摘要

利用透射电子显微镜和图象处理系统测量了晶粒度和薄膜厚度之间的关系。结果表明，磁控溅射钛膜具ｈｃｐ多晶结构，薄膜厚度减小，晶粒变细，遵循伍尔夫定理和晶粒长大受制约可能是影响薄膜晶粒尺寸的主要机制。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐兆麒		1	0	0.0	0.0
2	关鲁雄		2	1	1.0	1.0