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用基体调谐的fr磁控管溅射获得离子辅助沉积薄膜
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文献信息
| 篇名 | 用基体调谐的fr磁控管溅射获得离子辅助沉积薄膜 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 射频 磁控管溅射 离子沉积 薄膜 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 4-6 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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射频
磁控管溅射
离子沉积
薄膜
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
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语种：
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