基于微扰理论的静电电子透镜的缺陷电场计算

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微扰法 容差计算 静电电子透镜 有限差分格式
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 页码范围: 436-440
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 语种: 中文

摘要

研究了用于计算电子光学系统的缺陷电场和容差的微扰理论.基于微抗原理,推导了计算静电电子透镜由于电极偏心、倾斜和加工不圆造成的电场变化及其旁轴多极场展开函数的九点有限差分公式,编制了计算软件.建立了两个电场解析模型,通过该模型的解析解与数值计算结果的对比,证实了算法及软件的正确性,并据此讨论了微扰理论用于容差计算的适用范围.计算了几个静电电子透镜的例子,给出了不同电极缺陷的电位分布和微扰多极场分布.