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文献信息
篇名 硬亚氧化硼基薄膜沉积
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 磁控溅射 薄膜沉积 亚氧化硼 硬材料 硬度
年,卷(期) 1999,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-7
页数 3页 分类号 TN304.055
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节点文献
磁控溅射
薄膜沉积
亚氧化硼
硬材料
硬度
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