硅谐振梁式压力传感器模拟计算

• 作者: 刘广玉 樊尚春
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微结构 谐振梁 压力传感器鼢
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 37-40
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.011

摘要

本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构:以2×2mm2的方形硅膜片直接敏感被测压力,膜片的上表面架设有600×50×5μm3两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,谐振梁封装在真空腔内.利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量.针对这种谐振敏感结构的特征,建立其数学模型,通过模拟计算,得到若干规律性的结果,给出一组合理的设计参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学自动控制系	161	841	15.0	21.0
2	刘广玉	北京航空航天大学自动控制系	8	136	5.0	8.0