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BF+2注入硅栅p沟MOS场效应晶体管辐射感生界面陷阱测量
二氟化硼
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BF2+注入
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全耗尽
SOI
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PMOSFET
退火效应
低剂量率辐射损伤增强效应
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 BF+2注入加固硅栅PMOSFET的研究
来源期刊 物理学报 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 2299-2303
页数 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.1999.12.023
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物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
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1933
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