国产工艺的部分耗尽SOI PMOSFET总剂量辐照及退火效应研究

• 作者: 余学峰 兰博 刘刚 崔江维 李茂顺 费武雄 赵云 陈睿 高博
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 总剂量辐照效应 退火 亚阈曲线
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 1385-1389
• 分类号: TN386.1|TN406
• 语种: 中文

摘要

对国产工艺的部分耗尽SOI PMOSFET 60Coγ射线的总剂量辐照及退火效应进行了研究.结果表明:随着工艺技术的发展,正栅氧化层具有较强的抗辐照加固能力,背栅由于埋氧层厚度和工艺生长原因而对总剂量辐照较为敏感;辐照引入的深能级界面态陷阱电荷的散射作用,导致了正栅源漏饱和电流的显著降低;退火过程中界面态陷阱电荷的饱和决定了正栅亚阈曲线的平衡位置,而隧穿或热发射的电子只能中和部分背栅氧化物陷阱电荷,使得退火后背栅曲线仍与初始值有一定负向距离.