硅微热致动泵的关键加工工艺

• 作者: 叶雄英 吕苗 周兆英 崔天宏 张文栋 杨岳 王晓浩 赵彦军
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 微型泵 硅微加工工艺
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TH38
• 字数: 4467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.1999.01.010

摘要

提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关加工工艺进行了综述分析和试验研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔天宏	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
2	周兆英	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
3	王晓浩	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
4	叶雄英	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
5	杨岳	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
6	张文栋	精华大学精密仪器与机械学系	1	7	1.0	1.0
7	吕苗		1	7	1.0	1.0
8	赵彦军		1	7	1.0	1.0