体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究

• 作者: 李勇 李庆祥 李玉和 訾艳阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微夹持器 图像处理 实验分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TG759
• 字数: 1746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.01.001

摘要

对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试.采用显微镜-CCD-微机测试方案,微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取,得到"电压-位移"特性曲线并建立了数学方程.对特性方程的分析表明理论设计与试验结果的一致性与合理性.并分析了从设计、加工到测试过程中引起理论设计与实际器件性能差异的主要因素,表明现有的微机械设计理论与加工水平存在一定的不足.由试验结果中获取了相关微机械器件的设计经验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	清华大学精密仪器与机械学系	207	2161	23.0	35.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
3	李玉和	清华大学精密仪器与机械学系	59	1638	16.0	40.0
4	訾艳阳	清华大学精密仪器与机械学系	12	166	7.0	12.0