用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiCxNy膜的研究

• 作者: 刘仲阳 孙官清 廖小东 王培录 郑思孝
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 离子束辅助沉积 氮碳化钛 摩擦 磨损
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 54-59
• 分类号: V25
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.1999.05.013

摘要

用离子束辅助沉积(IBAD)工艺在9Cr18、GCr15钢基体上形成了TiCxNy膜.TEM观察发现膜均呈多晶结构,都具有(111)、(200)和(220)择优取向.AES 和XPS分析进一步证实,TiCxNy膜呈含氧配置.干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,其存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化膜的形成.又由于膜的硬度高, 润滑性良好,每种基体的磨损特性都得到了显著地改善.但随着基体不同,膜的力学和机械性能随N的注入量变化又表现出不同的变化规律.膜的硬度和摩擦特性与N含量有关,总的趋势是过高的N含量对其硬度与摩擦特性造成不利影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仲阳	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放研究实验室	16	109	7.0	10.0
2	孙官清	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放研究实验室	12	77	5.0	8.0
3	郑思孝	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放研究实验室	11	59	5.0	7.0
4	王培录	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放研究实验室	10	59	5.0	7.0
5	廖小东	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放研究实验室	11	60	5.0	7.0