影响TiN掺金镀装饰膜质量的工艺因素

• 作者: 程树英
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 装饰膜 离子镀 磁控溅射 TiN Au
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.1999.04.006

摘要

分析了用多弧离子镀和磁控溅射方法镀制Ti+TiN+Au装饰膜的工艺中, 影响膜层质量的主要工艺因素.实践表明,在基材经过严格的前处理后,只要对镀膜工艺进行合理的控制,就能制出既有TiN的硬度和耐磨性、又有黄金色泽的装饰膜层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程树英	福州大学电子科学与应用物理系	96	443	11.0	17.0