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微波ECR等离子体高速溅射装置的研制
微波ECR等离子体高速溅射装置的研制
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华中科技大学学报(自然科学版)
主办单位：
华中科技大学
出版周期：
月刊
ISSN：
1671-4512
CN：
42-1658/N
开本：
大16开
出版地：
武汉市珞喻路1037号
邮发代号：
38-9
创刊时间：
1973
语种：
chi
出版文献量（篇）
9146
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88536
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