半导体器件电热耦合模拟程序的开发与应用

• 作者: 田立林 郝明
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电热耦合模拟 自热 热平衡方程 组解耦法 异时间步长法
• 年，卷（期）: 1999,（Z1）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 114-117
• 分类号: TN386.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1999.Z1.030

摘要

开发了一个半导体器件的电热耦合器件模拟程序.它以双重能量传输模型为基础,包括了晶格中的热扩散以及载流子的产生、复合所造成的能量变化,考虑了载流子能流对整个热系统的影响.根据电热耦合模拟的特点,本程序采用了组解耦法和异时间步长法两种算法.组解耦法的运算速度是传统算法(全Newton法)的2～3倍而内存空间可节省一半.本程序已被集成到器件模拟软件PISCES-2H中.对一个SOI结构的负阻效应和瞬态特性的模拟结果表明,该程序能够正确模拟器件发热情况以及自热对器件特性的主要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田立林	清华大学微电子学研究所	31	116	6.0	8.0
2	郝明	清华大学微电子学研究所	1	5	1.0	1.0