监控对准采用的补偿对准测量法

• 作者: David Ziger Pierre Leroux 葛劢冲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 视觉测量法 对准 基线校正
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 专题译文
• 页码范围: 36-43,52
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5132字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.03.007

摘要

补偿对准测量方法(CALM)是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术.CALM技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前,通过准确偏移光栅1/2间距再次曝光,然后完全除去已曝光部分的原理建立的.采用这一原理已制作了直观显示可校正因素的试验片.CALM读数与盒中盒(BB)测量比较的测算3σ值精度为0.03μm.CALM读数与BB测量之间的线性度保持在±0.13μm误对准范围.采用此技术允许更频繁地进行基线校正.