高纯度钛的制造技术与其应用

• 作者: 张唯敏 新藤裕一
• 来源期刊: 国外金属加工
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯度钛 制造技术 超大规模集成电路
• 年，卷（期）: gwjsjgb_2000,（3）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TF823

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张唯敏		36	79	4.0	8.0
2	新藤裕一		1	0	0.0	0.0