碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响

• 作者: 俞国庆 徐洪杰 朱德彰 潘浩昌 郑志豪 阎逢元 陈景升
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 荷能团簇 结构 形貌 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 页码范围: 593-598
• 页数: 6页
• 分类号: O562.5
• 字数: 2837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2000.09.001

摘要

在室温下,以硅(100)为衬底,在不同的衬底偏压(即团簇不同碰撞能量]的条件下,用荷能团簇碰撞沉积方法制备了TiN薄膜.用原子力显微镜和X射线衍射等技术对TiN薄膜的表面形貌和结构进行了研究,并且在维式硬度计和SRV微动摩擦磨损试验机上对其摩擦学性能进行了考察.结果表明,在低的偏压情况下,团簇比较松散地堆积在衬底上;而在高偏压时团簇和衬底碰撞破碎,形成附着力强、致密性好及表面非常光滑的薄膜;在一定的偏压范围内,TiN薄膜是(220)择优取向,TiN薄膜具有较高的硬度、较低的摩擦系数和较好的耐磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐洪杰	中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室	56	438	10.0	19.0
2	俞国庆	中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室	6	9	2.0	3.0
3	朱德彰	中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室	26	83	5.0	8.0
4	潘浩昌	中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室	6	10	2.0	3.0
5	陈景升	中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室	4	6	2.0	2.0
6	郑志豪		2	6	2.0	2.0