CdTe钝化的HgCdTe非平衡载流子表面复合速度的实验研究

• 作者: 周咏东 方家熊 李言谨 赵军 龚海梅
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CdTe Ar+束溅射沉积 HgCdTe 光电导衰退 表面复合速度
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2000.01.016

摘要

利用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了低温CdTe介质薄膜的低温生长.在同一HgCdTe晶片表面分别用CdTe介质膜、HgCdTe自身阳极氧化膜进行表面钝化.利用光电导衰退测量技术测量了两种不同表面钝化的薄HgCdTe晶片的非平衡载流子(少数载流子)寿命,并通过光电导衰减信号波形的拟合,得到两种不同表面钝化的HgCdTe表面复合速度.实验结果表明,获得的CdTe/HgCdTe界面质量已超过了成熟的自身阳极氧化膜/HgCdTe界面质量水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚海梅	中国科学院上海技术物理研究所	69	451	10.0	18.0
2	李言谨	中国科学院上海技术物理研究所	24	187	8.0	13.0
3	方家熊	中国科学院上海技术物理研究所	39	184	7.0	11.0
4	赵军	中国科学院上海技术物理研究所	100	1883	24.0	40.0
5	周咏东	苏州大学物理科学与技术学院	8	40	3.0	6.0