金刚石薄膜结合强度的测量

• 作者: 朱静 谢中维 郭薇
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 结合强度 刮剥法
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TQ32
• 字数: 3274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2000.02.014

摘要

本文介绍了新型的、可用于硬质薄膜结合强度测量的刮剥式结合强度测量方法及其装置，并利用刮剥法测量了在不同基底(硬质合金和陶瓷基底)上生长的金刚石薄膜的结合强度，研究了基底表面状态及薄膜制备工艺对金刚石薄膜结合强度的影响。研究工作发现，如制备工艺适当，无论是采用热丝CVD法还是采用微波离子束法，在基片未经表面处理和经过表面处理两种情况下，金刚石薄膜结合强度强度基本处于同一强度水平。基底的表面处理可以明显改善金刚石薄膜的结合强度，而表面处理工艺对最终获得的结合强度大小有明显影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱静		80	1002	16.0	29.0
2	谢中维	冶金部钢铁研究总院新材料所	1	19	1.0	1.0
3	郭薇	冶金部钢铁研究总院新材料所	1	19	1.0	1.0